Elm
EN AZ
Plazma müalicəsi molekulyar örtüklərin silisiumu necə aşqarladığını aşkar etməyə kömək edir

Plazma müalicəsi molekulyar örtüklərin silisiumu necə aşqarladığını aşkar etməyə kömək edir

phys.org 29.09.2026 01:20 7 baxış
Silikon səthinin yaxınlığında dopant konsentrasiyasını nəzarət etmək ultradərin birləşmələr və nanometrlik cihazlar üçün artıq əhəmiyyətli hal alıb. Qarışıq monoqatlı dopinq (MMLD) səth kimyası əsasında bir yanaşma təklif edir ki, burada dopant