Plazma müalicəsi molekulyar örtüklərin silisiumu necə aşqarladığını aşkar etməyə kömək edir
phys.org 29.09.2026 01:20 7 baxış
Silikon səthinin yaxınlığında dopant konsentrasiyasını nəzarət etmək ultradərin birləşmələr və nanometrlik cihazlar üçün artıq əhəmiyyətli hal alıb. Qarışıq monoqatlı dopinq (MMLD) səth kimyası əsasında bir yanaşma təklif edir ki, burada dopant